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產(chǎn)品中心
Chroma 7503
  • 名稱:Chroma 7503
  • 型號:7503
  • 品牌:Chroma
  • 描述:Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次奈米三維光學(xué)輪廓量測儀,透過精密的掃描系統(tǒng)以...
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  Chroma 7503 

 

       Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次納米三維光學(xué)輪廓量測儀,透過精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測與分析。并可依據(jù)需求搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測,使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測功能,達(dá)到一機(jī)多用途的目的。

      Chroma 7503新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計,具備高度彈性之組合配置,可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應(yīng)用:搭載電動鼻輪,可同時掛載5種物鏡,使用時直接切換,省去手動更換的麻煩。同時配備電動調(diào)整移動平臺,可對樣品作自動調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動量測之應(yīng)用,樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析,適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。


      Chroma 7503之高度分辨率可達(dá)0.1 nm,而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達(dá)到100mm,且水平軸向亦可達(dá)次微米解析,除此Chroma 7503 可透過計算機(jī)控制移動平臺進(jìn)行水平掃瞄,使其水平軸向量測范圍可達(dá)到150 × 150mm,并可依據(jù)客戶需求修改平臺尺寸。

     Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理,系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn),并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法,因此本系列產(chǎn)品可同時擁有以及大范圍測量的特質(zhì)。


      Chroma 7503系統(tǒng)配備自動化掃描平臺,由垂直軸自動化移動平臺的掃描功能搭配快速的自動對焦算法,可有效輔助用戶找到對焦位置,另外通過傾斜調(diào)整平臺可快速地將待測物調(diào)平,在短短的幾秒鐘之內(nèi)無需繁復(fù)的操作,系統(tǒng)即可自動將待測物體調(diào)整至對焦位置并予以調(diào)平進(jìn)行量測。


     目前商用白光干涉分析儀使用之質(zhì)心算法來計算表面高度,因光線繞射的效應(yīng)在某些位置產(chǎn)生錯誤高度計算,造成量測結(jié)果邊界輪廓出現(xiàn)錯誤的信息,本系列產(chǎn)品采用開發(fā)3D Profiler Master量測軟件,并搭配Chroma干涉訊號處理算法來分析白光干涉圖譜,可將邊界錯誤問題予以避免。


      此外,系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點處理功能,可有效過濾并修正無法產(chǎn)生干涉之問題數(shù)據(jù)點,將這些暗點去除后可降低量測上的誤差。由于暗點處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行,因此暗點濾除功能可有效率的執(zhí)行,由于暗點乃參考其附件周圍數(shù)據(jù)來進(jìn)行修正,因此可使得量測更加強(qiáng)固且可靠。


      STA (Surface Texture Analysis) Master軟件針對表面輪廓數(shù)據(jù)分析、修正以及圖標(biāo)提供完整的面形貌呈現(xiàn),更提供超過150種線或面的輪廓參數(shù)計算,其中包含粗度、起伏、平整度、頂點與谷點等參數(shù)資料,高通濾波、低通濾波、快速傅立葉變換以及尖點移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號濾除,且軟件亦具備多項式擬合、區(qū)域成長、整面及多區(qū)域調(diào)平方法,可靈活運用于數(shù)據(jù)處理與分析上。


      在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中,諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等,由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能,在其制程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測。有鑒于此,Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。


      Chroma 7503兼具2D與3D量測,搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能能應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模塊化設(shè)計,可依客戶端實際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配,讓用戶可在價格與功能規(guī)格之間取得平衡,是您提升效率及節(jié)省成本的選擇。

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